Modélisation et simulation de la diffusion de l’arsenic dans le germanium

Abstract

Le but de ce travail est de modéliser et simuler la diffusion de l’arsenic dans le germanium, par les paires formées par les lacunes et le dopant. Nos résultats, de la solution numérique de l’équation aux dérivées partielles de la deuxième loi de Fick par la méthode des différences finies, sont très proches des résultats expérimentaux et ils ont montré que la diffusion dans ce cas est obtenue principalement par les lacunes qui possèdent une charge négative double.