Caractérisations Structurale, Optique et Electrique des Couches Minces du SnO2, Non Dopé et Dopé au Lithium, Elaborées par Spray Ultrasonique
Abstract
Dans le présent travail, nous avons élaboré des couches minces de dioxyde d’étain (SnO2) non dopées et dopées Lithium (Li) à différant taux de dopage, à partir des solutions de sel d’étain (SnCl2) dissout dans le méthanol pure, en utilisant le technique spray ultrasonique, sur des substrats en verre, de microscope ordinaire, chauffés à une température fixe de 480 °C. Pour les caractérisations de ces couches minces de SnO2 avant et après dopage, nous avons fait appelle aux technique des diffractions des rayons X, la spectroscopie de transmission optique UV-Visible et la méthode de quatre pointes. De la caractérisation par des diffractions des rayons X nous avons montré que les directions favorisées pour le SnO2 non dopé et dopé étaient (110) et (211) respectivement. Le calcule de la taille de grains a donné une valeur de 29-33nm. La transmittance est dans la gamme de [60-85%] alors que l’énergie de la bande optique, déterminée optiquement, de ces matériaux était de 3.72eV pour le non dopé et de 3.87eV pour celui dopé à 5%. La détermination de l’épaisseur des couches par la méthode des interférences a donné une valeur de 200nm. La caractérisation électrique a montré que la résistance carrée a augmenté de 600 à 8.3x105 Ω/cm2 après le dopage par du lithium entrainant une chute de la conductivité électrique.