Simulation Monte Carlo de réactions chimiques dans le volume d'un réacteur PECVD lors de déposition d'une couche mince a-C:H

Abstract

Ce travail présente une simulation par la méthode de Monte Carlo (SMC) des réactions chimiques qui se produisent dans le volume d'un réacteur PECVD lors de déposition d'une couche mince a-C: H élaboré à partir d'un mélange gazeux (CH4 /H2). En plus de CH4 et H2, les molécules et les radicaux considérés dans l'étude sont CH3, CH2, CH, C2H5, C2H6 et H. La SMC se base sur les collisions binaires. La SMC nous a permis d'obtenir les densités et les fractions molaires des particules ainsi que d'autres paramètres liés aux vitesses de réactions. Les résultats sont en bon accord avec d'autres travaux.