Caractérisation Spectroscopique des Couches Minces du SnO2 non Dopées et Dopées Fluore Elaborées Par Spray Ultrasonique

Abstract

Dans le présent travail, nous avons préparé des couches minces de dioxyde d’étain (SnO2) non dopées et dopées Fluor (F) pour différents taux de dopage, à partir des solutions de sel d’étain (SnCl4), par le technique spray ultrasonique sur des substrats en verre de microscope ordinaire chauffés à une température fixe de 480 °C. Nous avons analysé les caractéristiques optiques des ces couches minces de SnO2 (transmittance, gap optique et l’indice de réfraction) avant et après dopage. Nous avons aussi calculé les épaisseurs des couches pour évaluer la vitesse de croissance des ces couches en utilisant la méthode des franges (la méthode de Manifacier et Swanepoel). Nous avons utilisé la spectroscopie de transmission optique UV-Visible. Les spectres UV-Visible de transmission optique des couches montrent que les films de SnO2 sont de bonnes qualités avec une transmittance de 74 à 85% dans le visible et ont un gap optique évalué entre 3.87 à 4 eV. Nous avons remarqués que la vitesse de croissance diminue avec l’augmentation de taux de dopage allant de 300nm/min pour le dopé 3% à 220nm/min pour les couches dopées 6%.