Etude des spectres d’émission d’ions d’argon lors de déposition sur couches minces dans un pulvérisateur cathodique magnétron

Abstract

Cette étude est consacrée à l'étude de la spectroscopie de plasmas de décharge lors de déposition sur couches minces par une pulvérisation cathodique magnétron RF. La chambre de pulvérisation contient une cible en Nylon 6,6 (Good fellow). L’étude concerne les transitions électroniques d’atomes et d'ions d’argon, des molécules d’azote et d'ions d’azote dans des plasmas et la détermination de la température électronique et de la densité électronique de ce plasma. Les caractérisations de plasma montrent que le plasma de décharge est hors équilibre thermodynamique local. Les résultats de notre calcul sont en adéquation avec les résultats expérimentaux de J. Kousal et al. (2009) [1].